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離子注入機閃耀珠海航展
來源:新聞中心
發布時間:2021年09月26日 編輯:新聞中心

  離子注入機是芯片制造中的核心關鍵裝備。中國電科連續突破大流強長壽命高品質離子源、高速晶圓傳輸等核心關鍵技術,自主研制中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機,工藝段覆蓋至28nm,累計形成核心發明專利413項,實現我國芯片制造領域全譜系離子注入機自主創新發展,有效緩解我國芯片制造領域斷鏈、短鏈難題。

  截止到目前,中國電科已成功實現離子注入機全譜系產品國產化,可為全球芯片制造企業提供離子注入機一站式解決方案。下一步,將瞄準高端,緊跟先進工藝發展,加快推進適用于更先進工藝節點離子注入機的研發及產業化。

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